據(jù)粉體網(wǎng)訊 硅溶膠（納米SiO2粒子分散在水或者有機(jī)溶劑中形成的膠體分散液）作為CMP拋光液的重要組成部分，在超大規(guī)模集成電路硅襯底及層間電介質(zhì)、淺溝槽隔離絕緣體、導(dǎo)體和鑲嵌金屬等全局平坦化過程中的有著重要的應(yīng)用。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的野蠻成長，該材料已經(jīng)成為產(chǎn)業(yè)界的一顆明亮的新星。2021年7月9日由粉體圈主辦的“2021年全國二氧化硅材料技術(shù)創(chuàng)新與高端應(yīng)用交流會(huì)”屆時(shí)將對(duì)硅溶膠在CMP拋光液中的應(yīng)用進(jìn)行專題報(bào)告探討，并在7月9號(hào)晚上7:30-8:30舉辦關(guān)于該話題的圓桌會(huì)議。
參會(huì)嘉賓：
呂 毅（航天特種材料及工藝技術(shù)研究所，研究員）
張澤芳（上海映智研磨材料有限公司，博士、總經(jīng)理）
韓 鵬（華南師范大學(xué)物理與電信工程學(xué)院，教授、博士生導(dǎo)師，副院長 ）
阮建軍（江蘇聯(lián)瑞新材料股份有限公司，董事長助理 ）
向龍華（深圳市叁星飛榮機(jī)械有限公司，常務(wù)副總）
黃運(yùn)雷（江西中節(jié)能高新材料有限公司，總經(jīng)理）
樊永根 （ 浙江格洋新材料股份有限公司，董事長）
童躍進(jìn) （福建師范大學(xué)，教授、博士生導(dǎo)師 ）
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來源：粉體網(wǎng)
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